通常使用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)濾膜進(jìn)行全自動(dòng)分析來(lái)驗(yàn)證清潔度。顆粒物檢測(cè)、測(cè)量和分類很大程度上取決于鏡頭（即放大率和分辨率）、照明類型（例如偏振、明場(chǎng)或暗場(chǎng)）、圖像處理軟件中使用的閾值以及顆粒物特性（尺寸、成分、反射率等）。因此，在比較相同類型顆粒的結(jié)果時(shí)，光學(xué)系統(tǒng)和分析參數(shù)必須相同。
 

標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)分析
為了提供有意義的比較，建議進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)分析。標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)分析中，在確定規(guī)范之前定義圖像設(shè)置和分析過(guò)程，因此與使用的系統(tǒng)無(wú)關(guān)。
 

顆粒物的檢測(cè)和測(cè)量
測(cè)量的精度主要由顯微鏡鏡頭的放大倍率和分辨率決定。更高的放大倍率可以提高精度，但也會(huì)降低景深。因此，當(dāng)在高放大倍率下測(cè)量小顆粒時(shí)，垂直方向的電動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)可以補(bǔ)償?shù)途吧詈瓦^(guò)濾器表面的不規(guī)則性。使用高放大倍率還需要分析大量圖像，以便全面檢查濾光片。因此，必須在測(cè)量精度和處理/分析時(shí)間之間找到平衡點(diǎn)。 
此外，為了準(zhǔn)確地確定尺寸和范圍，顆粒應(yīng)均勻分布在過(guò)濾器表面上而沒(méi)有重疊，并以顆粒物所占的表面百分比來(lái)報(bào)告。
 

偏光片
交叉偏振器可用于消除金屬顆粒的反射，在這種情況下，金屬顆粒在明亮的背景上會(huì)顯得很暗。如果不使用偏光片，當(dāng)亮區(qū)的亮度與背景濾光片的亮度相似時(shí)，就有可能將亮區(qū)和暗區(qū)的顆粒分成幾個(gè)顆粒。不使用偏光片時(shí)，非常接近的顆粒也可能會(huì)出現(xiàn)大小和形狀的變形，因?yàn)楫?dāng)它們靠近在一起時(shí)，相鄰的顆?？赡芸雌饋?lái)很相似，類似于一個(gè)更大的顆粒。
 

顆粒長(zhǎng)度和寬度
顆粒的大小和特征可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)分析來(lái)確定。顆粒長(zhǎng)度，即2條平行線之間的最大距離，F(xiàn)eretmax，其可以應(yīng)對(duì)于2個(gè)敏感元件[5]之間的距離，例如電引線，這意味著顆粒能夠“連接"它們。寬度或Feretmin是2條平行線[5,6]之間的最小距離，當(dāng)它對(duì)應(yīng)的通道寬度足以使顆粒通過(guò)時(shí)，則表示存在潛在的危險(xiǎn)。
 

纖維
纖維在制造過(guò)程中也是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，但紡織纖維（例如來(lái)自服裝的纖維）的潛在破壞性弱于纖維狀顆粒物，因此應(yīng)將這些類型相互區(qū)分開(kāi)來(lái)。通常，細(xì)長(zhǎng)長(zhǎng)度與最大內(nèi)徑之比大于20且內(nèi)徑小于50 µm的顆粒會(huì)被認(rèn)為是纖維。
 

金屬顆粒
金屬顆粒是組件上最常見(jiàn)的污染物之一，由于其機(jī)械和電氣特性，它們對(duì)許多應(yīng)用具有高危害性。由于光學(xué)外觀的變化，基本標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)方法無(wú)法可靠地識(shí)別金屬顆粒，需要使用擴(kuò)展分析方法。
然而，可以使用非偏振光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行第一次表征，通過(guò)其閃亮外觀（直方圖強(qiáng)度值接近白色的強(qiáng)度值的反射）識(shí)別金屬顆粒?？梢詧?zhí)行自動(dòng)分析以確定閃亮顆粒是否為金屬，但只有在系統(tǒng)參數(shù)（鏡頭類型、放大倍率、其他參數(shù)設(shè)置等）和顆粒特征（顏色、粗糙度、均勻性等）相同時(shí)才能比較結(jié)果。如果滿足以下兩個(gè)要求，則可以使用此方法：
通過(guò)已使用的參數(shù)設(shè)置確定顆粒具有金屬光澤，但可能需要事先進(jìn)行擴(kuò)展分析加以證明
由專業(yè)的操作員目視確認(rèn)自動(dòng)表征結(jié)果
 

材料和設(shè)備
顆粒分析需要以下材料和設(shè)備：

• 顯微鏡

• 無(wú)偽影均勻光源發(fā)出的入射（反射）光

• 濾光片必須緊緊固定在樣品架上，最好用玻璃蓋壓平，以確保整個(gè)濾光片可以在特定放大倍率下成像

• 過(guò)濾器的定位使用電動(dòng)裝置完成，精確性應(yīng)可以觀察到最小顆粒

• 鏡頭分辨率和相機(jī)傳感器的像素?cái)?shù)應(yīng)匹配，以便可以應(yīng)用10 像素標(biāo)準(zhǔn)，即最小顆粒尺寸應(yīng)對(duì)應(yīng)于至少10個(gè)像素（參見(jiàn)圖1）